微光，光通讯
—— 光通信就是以光波为载波的通信。增加光路带宽的方法有两种：一是提高光纤的单信道传输速率；二是增加单光纤中传输的波长数，即波分复用技术（WDM）。
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中空 气密构造
具有优良的机械刚性。热膨胀系数与硅相近，因此与硅 MEMS 等器件的应力小。
陶瓷叠层技术有助实现小型化，高密度，表面封装。
加速度传感器
角速度传感器（陀螺仪，横摆角）
压力传感器
CMOS/CCD 图像传感器
